硅片制造商對靶材的要求是大尺寸、高純度、低偏析和細(xì)晶粒，這就要求所制造的靶材具有更好的微觀結(jié)構(gòu)。靶材的結(jié)晶粒子直徑和均勻性已被認(rèn)為是影響薄膜沉積率的關(guān)鍵因素。它的用途也相當(dāng)廣泛。遠(yuǎn)在石器時代，人們用它制作石斧、石箭等簡單的生產(chǎn)工具，以獵取食物和抗擊敵人 。石英是非可塑性原料，其與粘土在高溫中生成的莫來石晶體賦予瓷器較高的機(jī)械強度和化學(xué)穩(wěn)定性，并能增加坯體的半透明性，是配制白釉的良好原料。當(dāng)二氧化硅結(jié)晶時就是水晶，二氧化硅膠化脫水后就是瑪瑙，二氧化硅含水的膠體凝固后就成為蛋白石。二氧化硅晶粒小于幾微米時，就組成玉髓、燧石、次生石英巖。