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    國內(nèi)對ITO靶材的需求量大幅增長,國內(nèi)生產(chǎn)的ITO靶材密度低,無法滿足平板顯示器行業(yè)對于靶材質(zhì)量的要求.僅僅部分用于低端液晶產(chǎn)品中。目前世界上只有日本、美國、德國等少數(shù)發(fā)達國家和地區(qū)能生產(chǎn)ITO靶材,而我國平板顯示器產(chǎn)copy業(yè)所需求的ITO靶材的98%依賴于進口,因此,研制開發(fā)ITO靶材生產(chǎn)技術(shù)是現(xiàn)有In生產(chǎn)企業(yè)開發(fā)In深加zhidao工技術(shù)的目標(biāo)。ITO靶材就是銦錫氧化物靶材,用于通過磁控濺射工藝,在玻璃基板或有機薄膜上鍍上一層透明抄、導(dǎo)電薄膜,也就是ITO薄膜。ITO薄膜是目前氧化物薄膜里透光性和導(dǎo)電性的,所以ITO靶材是顯示面板必須的上游材料。如何能夠自主的驗證產(chǎn)品是否符合客戶的使用需求,是產(chǎn)品能否一次通過客戶驗證并且順利導(dǎo)入生產(chǎn)的關(guān)鍵因素,所以企業(yè)自己配套綁定檢測設(shè)備及鍍膜機就是保證。蒸發(fā)靶材的技術(shù)難度較高(針對LED芯片市場),目前全球供應(yīng)只有日本住友和長沙壹納兩家,其中長沙壹納靶材目前在國內(nèi)的占有率已經(jīng)突破80%,品質(zhì)也相對穩(wěn)定。其他廠家也嘗試進入,但目前為止沒有批量導(dǎo)入的經(jīng)驗。



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