純度是石英玻璃的重要目標(biāo)

，對理化功能和使用功能影響甚大，如失透性、高溫強(qiáng)度、軟化點(diǎn)、光的傳導(dǎo)、熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性、耐輻射性、熒光特性等；此外，用于半導(dǎo)體工業(yè)的石英玻璃，對純度的請求更為苛刻，微量的雜質(zhì)將給半導(dǎo)體資料的電功能和壽數(shù)以及集成度帶來嚴(yán)峻的影響。由于半導(dǎo)體資料的純度請求控制在ppb數(shù)量級以下，因此石英玻璃則應(yīng)控制在PPm數(shù)量級以習(xí)慣半導(dǎo)體工業(yè)的需求。B的分凝系數(shù)近于1,最難除去，是最有害的雜質(zhì)之一，Cu、Fe、Ti等影響半導(dǎo)體的少子壽數(shù)，K、Na、Li是單晶資料產(chǎn)生微缺點(diǎn)的有害雜質(zhì)。

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