磁控離子濺射儀 型號:KM1-SBC-2000庫號：M312284   

濺射靶頭 低電壓平面磁控濺射 輸入電源 220V/100W（50/60Hz）

主機尺寸 260（L）×400（D）×365（H） 可用靶材 金、鉑、銀、銅、鈀等

屏 7 英寸彩色觸摸屏 靶材尺寸 φ57×0.12mm（標配）

真空室 ~φ130×130（H）mm 

真空泵 旋片泵（可選配干泵） 抽速 1.1L/s

真空泵尺寸 445（L）x144（D）x217（H） 真空泵電源 220V/400W（50/60Hz）

操作方式 一鍵操作 樣品臺 Φ64mm

工作電流 5-45mA 連續(xù)可調(diào) 工作時間 1-s 連續(xù)可調(diào)

保護 過流、真空保護 工作氣體 空氣/氬氣

不銹鋼波紋管 管路規(guī)格 KF16/25—800（L）mm

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