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    準(zhǔn)分子燈，又稱紫外線準(zhǔn)分子燈，通過采用準(zhǔn)分子氣體配比獲得不同單色波長(zhǎng)，如172nm、222nm或308nm等高強(qiáng)度的準(zhǔn)分子紫外光。準(zhǔn)分子發(fā)射的紫外線光具有單光譜特性，狹窄的光譜線和單色紫外光譜使得它能用更集中的功率來進(jìn)行光處理。與傳統(tǒng)汞紫外線燈比較，準(zhǔn)分子紫外線燈光強(qiáng)超大，靶向，無汞危害，綠色環(huán)保，可回收，克服現(xiàn)有技術(shù)瓶頸，以其高能量密度、低反應(yīng)溫度、大反應(yīng)面積、反應(yīng)時(shí)間短的卓越特性，在微電子、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)和環(huán)境保護(hù)等領(lǐng)域獲得廣泛和特的應(yīng)用。
    在紫外光譜區(qū)發(fā)射的光源廣泛用于涉及光化學(xué)過程的技術(shù)，例如油墨、粘合劑、清漆和涂層的固化、光刻、電介質(zhì)的紫外誘導(dǎo)生長(zhǎng)、紫外誘導(dǎo)表面改性和清潔或材料沉積。非相干紫外源與激光源相比具有一些優(yōu)勢(shì)，因?yàn)樗鼈兂杀镜?、照射面積大且易于使用，尤其是在設(shè)想大規(guī)模工業(yè)過程時(shí)。
    汞燈(λ=253.7nm)是廣泛傳播的紫外線源，但其生產(chǎn)、使用和處理舊燈對(duì)人類健康和環(huán)境污染構(gòu)成威脅。與常用的汞燈相比，準(zhǔn)分子燈具有許多優(yōu)點(diǎn)。準(zhǔn)分子的一個(gè)特定特征是在基電子態(tài)中不存在強(qiáng)鍵。因此，可以從等離子體中提取高強(qiáng)度紫外線，而不會(huì)產(chǎn)生明顯的自吸收。這使得可以有效地將沉積到活性介質(zhì)的能量轉(zhuǎn)化為紫外線。

    準(zhǔn)分子燈被稱為紫外線的冷源，因?yàn)榕c傳統(tǒng)的紫外線燈（如汞燈）相比，準(zhǔn)分子燈的表面保持在相對(duì)較低的溫度。由于介質(zhì)不需要加熱，準(zhǔn)分子燈在打開后幾乎立即達(dá)到峰值輸出。
    稀有氣體和稀有氣體鹵化物準(zhǔn)分子燈通常在紫外(UV)和真空紫外(VUV)光譜區(qū)。它們特的窄帶發(fā)射特性、高量子效率和高能光子使其適用于吸收光譜、紫外線固化、紫外線涂層、消毒、臭氧產(chǎn)生、氣態(tài)有機(jī)廢物破壞、光刻和光刻等應(yīng)用。沉積和更多其他應(yīng)用。

    172nm紫外線UV光清洗技術(shù)的應(yīng)用范圍:
    1.各種材料(ITO玻璃,光學(xué)玻璃,鉻板,掩膜版,拋光石英晶體,硅)晶片和帶有氧化膜的金屬等進(jìn)行精密清洗處理;
    2.石臘,松香,油脂,人體體油以及殘余的光刻膠/聚酰亞胺和環(huán)氧樹脂
    3.高精度PCB焊接前的清洗和去除殘余的焊劑以及敷銅箔層壓板的表面清潔和氧化層生成；
    4.真空密封技術(shù)和熱壓焊接前的表面清潔處理以及各種微型元件的清洗
    5.在LCD、OLED, Touch Panel科研/生產(chǎn)中，在涂光刻膠、PI膠、定向膜、鉻膜、色膜前經(jīng)過光清洗，可以大的提高基體表面潤(rùn)濕性，增強(qiáng)基體表面的粘合力；
    6.印制電路板生產(chǎn)中，對(duì)銅底板，印刷底板進(jìn)行光清洗和改質(zhì)，在導(dǎo)線焊接前進(jìn)行光清洗，可以提高熔焊的接觸面積，大大增加連接強(qiáng)度。特別是高精度印制電路板，當(dāng)線距達(dá)到亞微米級(jí)時(shí)，光清洗可輕易地去除在線距之間很小的微粒，可以大大提高印制電路板的質(zhì)量。
    7.大規(guī)模集成電路的密度越來越高，晶格的微細(xì)化越來越密，要求表面的潔凈度越來越高，光清洗可以有效地實(shí)現(xiàn)表面的原子清潔度，而且對(duì)芯片表面不會(huì)造成損傷。?
    8.在半導(dǎo)體生產(chǎn)中，硅晶片涂保護(hù)膜、鋁蒸發(fā)膜前進(jìn)行光清洗，可以提高粘合力，防止針孔、裂縫的發(fā)生
    9.在光盤的生產(chǎn)中，沉積各種膜前作光清洗準(zhǔn)備，可以提高光盤的質(zhì)量。
    10.磁頭固定面的粘合，磁頭涂敷，以及提高金屬絲的連接強(qiáng)度，光清洗后效果更好。
    11.石英晶體振蕩器生產(chǎn)中，除去晶體檢測(cè)后涂層上的墨跡，晶體在銀蒸發(fā)沉積前，進(jìn)行光清洗可以提高鍍膜質(zhì)量和產(chǎn)品性能。
    12.在IC卡表面插裝ROM前，經(jīng)過光清洗可提高產(chǎn)品質(zhì)量。
    13.彩色濾光片生產(chǎn)中，光清洗后能洗凈表面的有機(jī)污染物。
    14.敷銅箔層壓板生產(chǎn)中，經(jīng)過光照改質(zhì)，不僅表面潔凈而且表面形成十分均勻的保護(hù)氧化層，產(chǎn)品質(zhì)量顯著提高。
    15.光學(xué)玻璃經(jīng)過紫外光清洗后，鍍膜質(zhì)量更好。
    16.樹脂透鏡光照后，能加強(qiáng)與防反射板的粘貼性。
    典型應(yīng)用包括：
    ·表面的原子級(jí)清洗
    ·聚合物粘接
    ·去除有機(jī)分子
    ·釋放捕獲的無機(jī)分子
    ·微流控制作
    ·微米/納米構(gòu)型
    ·紫外光固化
    ·表面化學(xué)改性
    ·表面
    ·表面氧化
    ·金屬粘結(jié)準(zhǔn)備……
    .光酸化水處理,促進(jìn)酸化水處理
    .光重合反應(yīng)

    準(zhǔn)分子光源作用原理
    基于準(zhǔn)分子光源特點(diǎn)，我們來看看準(zhǔn)分子光源是如何產(chǎn)生作用的。以準(zhǔn)分子波長(zhǎng)172 nm為例，紫外線照射固體表面后，表面的污染物有機(jī)分子結(jié)合被強(qiáng)的光能切斷、氧化，而后分解成氧氣和氫氣等易揮發(fā)性物質(zhì)，終揮發(fā)消失，被清洗后的表面清潔度高。
    1、打破分子鍵
    打破有機(jī)物質(zhì)的分子鍵的能量需要超過物質(zhì)結(jié)合能的光能，同時(shí)物質(zhì)的能量吸收（激發(fā)）越大，越容易引發(fā)反應(yīng)（分解）并且所需的處理時(shí)間越短。因此使用低壓紫外線燈無法打破的結(jié)合能可以使用準(zhǔn)分子燈產(chǎn)生的 172nm 波長(zhǎng)進(jìn)行分解。
    2、大量產(chǎn)生激發(fā)態(tài)氧原子
    準(zhǔn)分子紫外線燈與傳統(tǒng)汞紫外線燈比較，光強(qiáng)超大，靶向準(zhǔn)，無汞制造，綠色環(huán)保，可回收，沒有二次污染。與低壓紫外燈的185nm波長(zhǎng)相比，準(zhǔn)分子燈172nm波長(zhǎng)的分子氧吸收系數(shù)大20倍左右。這不僅可以產(chǎn)生高密度的活性氧，而且通過直接作用于氧氣，可以產(chǎn)生具有強(qiáng)大氧化能力的強(qiáng)激發(fā)氧。
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